无移动部件微泵的设计、制造及基于微PIV技术的流动测量

Design, fabrication and micro-PIV measurement on no-moving-part micro-pump

  • 摘要: 基于简化微泵加工难度、延长寿命及特殊管道流体特性原理,设计了一种无移动部件微泵.通过数值计算对设计微泵进行优化.用特殊材料PDMS及微机械加工工艺制造出微泵.用微PIV粒子成像技术测量了微泵流场特性及流量.可实现在工作频率600~2000Hz下,微泵流量为0.01~0.1μL/8.

     

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