梁-膜结构微压传感器研制

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

梁-膜结构微压传感器研制

杨梅, 于炜, 张莹, 史煜

文章导航 > 实验流体力学 > 2010 > 24(2): 74-76,96

杨梅, 于炜, 张莹, 等. 梁-膜结构微压传感器研制[J]. 实验流体力学, 2010, 24(2): 74-76,96. doi: 10.3969/j.issn.1672-9897.2010.02.016

引用本文:

杨梅, 于炜, 张莹, 等. 梁-膜结构微压传感器研制[J]. 实验流体力学, 2010, 24(2): 74-76,96. doi: 10.3969/j.issn.1672-9897.2010.02.016

YANG Mei, YU Wei, ZHANG YING, et al. Development of a beam-membrane structure micro-pressure sensor[J]. Journal of Experiments in Fluid Mechanics, 2010, 24(2): 74-76,96. doi: 10.3969/j.issn.1672-9897.2010.02.016

Citation:

YANG Mei, YU Wei, ZHANG YING, et al. Development of a beam-membrane structure micro-pressure sensor[J]. Journal of Experiments in Fluid Mechanics, 2010, 24(2): 74-76,96. doi: 10.3969/j.issn.1672-9897.2010.02.016

杨梅, 于炜, 张莹, 等. 梁-膜结构微压传感器研制[J]. 实验流体力学, 2010, 24(2): 74-76,96. doi: 10.3969/j.issn.1672-9897.2010.02.016

引用本文:

杨梅, 于炜, 张莹, 等. 梁-膜结构微压传感器研制[J]. 实验流体力学, 2010, 24(2): 74-76,96. doi: 10.3969/j.issn.1672-9897.2010.02.016

YANG Mei, YU Wei, ZHANG YING, et al. Development of a beam-membrane structure micro-pressure sensor[J]. Journal of Experiments in Fluid Mechanics, 2010, 24(2): 74-76,96. doi: 10.3969/j.issn.1672-9897.2010.02.016

Citation:

YANG Mei, YU Wei, ZHANG YING, et al. Development of a beam-membrane structure micro-pressure sensor[J]. Journal of Experiments in Fluid Mechanics, 2010, 24(2): 74-76,96. doi: 10.3969/j.issn.1672-9897.2010.02.016

梁-膜结构微压传感器研制

doi: 10.3969/j.issn.1672-9897.2010.02.016

中国空气动力研究与发展中心,四川,绵阳,621000

中图分类号: 11-5266/V
计量
- 文章访问数: 84
- HTML全文浏览量: 21
- PDF下载量: 3
- 被引次数: 0
出版历程
- 刊出日期: 2010-02-01

Development of a beam-membrane structure micro-pressure sensor

摘要: 由四个弹性梁和一个刚性中心膜构成的梁-膜结构,具有平面应力集中效应,与一般的结构相比,这种膜片在受到微压时即产生较大的应力集中,使传感器在测量微压时有较高的灵敏度,它的特别的结构能解决一般结构膜片在很薄时由膜应力和弯曲应力产生的严重的非线性.介绍的这种双面腐蚀形成的梁-膜结构的硅压阻式微压传感器的设计就是采用这种应力集中原理,芯片结构的力学特性分析及样件测试结果表明,这种结构的微压传感器具有较高的灵敏度和较低的非线性,成功地实现了对微小压力的测量.利用有限元仿真计算对用于100Pa压力测量的梁-膜结构硅压力传感器的结构参数进行优化,并对芯片版图设计、制作工艺技术和传感器的特性等问题进行了讨论.
- 微压测量 /
- 压力传感器 /
- 应力集中

参考文献(0)

资源附件(0)

WeChat

点击查看大图

计量

文章访问数: 84
HTML全文浏览量: 21
PDF下载量: 3
被引次数: 0

/

下载: 全尺寸图片幻灯片

分享

用微信扫码二维码

分享至好友和朋友圈

返回

我要投稿

投稿指南

联系我们

二维码

版权所有 © 《实验流体力学》编辑部京ICP备14006930号-5

地址：四川省绵阳市涪城区二环路南段6号11信箱9分箱《实验流体力学》编辑部邮编：621000

电话：0816-2463376Email：syltlx@163.com

本系统由北京仁和汇智信息技术有限公司开发

x 关闭永久关闭

重要公告

www.syltlx.com是《实验流体力学》期刊唯一官方网站，其他皆为仿冒。请注意识别。

《实验流体力学》期刊不收取任何费用。如有组织或个人以我刊名义向作者、读者收取费用，皆为假冒。

相关真实信息均印刷于《实验流体力学》纸刊。如有任何疑问，请先行致电编辑部咨询并确认，以避免损失。编辑部电话0816-2463376，2463374，2463373。

请广大读者、作者相互转告，广为宣传！

感谢大家对《实验流体力学》的支持与厚爱，欢迎继续关注我刊！

《实验流体力学》编辑部

2021年8月13日